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| 离子注入机用钨、钼、石墨和陶瓷部件 |
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| 1.
先进的加工和检测设备 |
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产品说明 |
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| 北京德望是一家专业生产高纯钨、钼、TZM、石墨、陶瓷棒/板/丝和离子注入机关键部件的研发生产企业，依靠众多专家雄厚的技术力量，掌握了钨、钼等稀有金属中各种杂质对半导体掺杂工艺的影响；独立建设了一套针对半导体制造设备用稀有金属部件的质量控制体系与产品验收标准。利用多种材料加工工艺（包括冷/热等静压、真空冶炼等工艺），我们能够提供均一、细晶和高密度的材料，复合您最严格的质量标准。通过我们的不懈努力有效保证了原材料的品质和机加工成品质量的一致性。通过这些研发成果，我公司的产品已获得了国外半导体制造设备行业的广泛认可。
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| 3. 应用 |
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我们的离子注入机和电子蒸发设备用备件和易耗件已广泛使用在如下系统中：
瓦里安（Varian
）系列离子注入机型号MC (CF-3000) 和 HC (160XP)
伊顿（Eaton）系列离子注入机MC
(NV-6200), HC (10-80) 和GSD 系列离子源
应用材料系统离子注入机
Nission 系列离子注入机
Nission 系列离子注入机 |
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